Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - edizione con copertina flessibile
ISBN: 0819439959
[SR: 1966210], Paperback, [EAN: 9780819439956], SPIE Publications, SPIE Publications, Book, [PU: SPIE Publications], SPIE Publications, This tutorial summarizes optical lithography enhanc… Altro …
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ISBN: 9780819439956
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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47) - edizione con copertina flessibile
2001, ISBN: 9780819439956
SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Altro …
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2001
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Dati bibliografici del miglior libro corrispondente
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Titolo: | |
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Contents
- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index
Informazioni dettagliate del libro - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Copertina flessibile
Anno di pubblicazione: 2001
Editore: SPIE Press
Libro nella banca dati dal 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Zurich)
Pagina di dettaglio ultima modifica in 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 0819439959
ISBN - Stili di scrittura alternativi:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Stili di scrittura alternativi e concetti di ricerca simili:
Autore del libro : kit wong
Titolo del libro: resolution, spie vol, enhancement
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