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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - - nuovo libro
2008, ISBN: 363805277X
Diplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universität Chemnitz (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologie… Altro …
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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - Prima edizione
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Informazioni dettagliate del libro - Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
EAN (ISBN-13): 9783638052771
ISBN (ISBN-10): 363805277X
Anno di pubblicazione: 2004
Editore: GRIN Verlag
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ISBN/EAN: 9783638052771
ISBN - Stili di scrittura alternativi:
3-638-05277-X, 978-3-638-05277-1
Stili di scrittura alternativi e concetti di ricerca simili:
Autore del libro : wachtler, wachtl, grin verlag, wächtler
Titolo del libro: mikroelektronik, metallisierung, gasphase, die kupfer, chemische gasphasenabscheidung, die von der
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