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Excimer Laser Technology - nuovo libro

ISBN: 9783642057496

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2010, ISBN: 3642057497

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Buch, Softcover, Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2005, [PU: Springer Berlin], Springer Berlin, 2010

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Dettagli del libro
Excimer Laser Technology

A timely and comprehensive survey, Excimer Laser Technology reports on the current status and range of the underlying technology, applications and devices of this commonly used laser source, as well as the future of new technologies, such as F2 laser technology.

Informazioni dettagliate del libro - Excimer Laser Technology


EAN (ISBN-13): 9783642057496
ISBN (ISBN-10): 3642057497
Copertina rigida
Copertina flessibile
Anno di pubblicazione: 2010
Editore: Springer Berlin
456 Pagine
Peso: 0,684 kg
Lingua: eng/Englisch

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ISBN/EAN: 9783642057496

ISBN - Stili di scrittura alternativi:
3-642-05749-7, 978-3-642-05749-6
Stili di scrittura alternativi e concetti di ricerca simili:
Autore del libro : bastin, marow, dirk basting
Titolo del libro: laser, excimer


Dati dell'editore

Autore: Dirk Basting
Titolo: Excimer Laser Technology
Editore: Springer; Springer Berlin
433 Pagine
Anno di pubblicazione: 2010-10-13
Berlin; Heidelberg; DE
Stampato / Fatto in
Peso: 0,694 kg
Lingua: Inglese
307,99 € (DE)

BC; Optics, Lasers, Photonics, Optical Devices; Hardcover, Softcover / Physik, Astronomie/Elektrizität, Magnetismus, Optik; Laserphysik; Verstehen; Technologie; Trend; biophotonics; design; development; glass; laser; laser physics; laser technology; material; optics; photonics; physics; technology; temperature; Physical Chemistry; Measurement Science and Instrumentation; Engineering, general; Laser; Physical Chemistry; Measurement Science and Instrumentation; Technology and Engineering; Physikalische Chemie; Wissenschaftliche Standards, Normung usw. Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein; BB

Introductory Remarks.- Fundamentals.- Some Fundamentals of Laser Physics.- Principles of Excimer Lasers.- Design and Technology of Excimer Lasers.- High-Repetition-Rate and High-Power Lasers.- High-Energy Lasers.- Excimer Lasers for Microlithography.- Laser Beam Characterization.- Optical Coatings for Excimer Laser Applications.- Small Structures with Large Excimer Lasers.- Historical Review of Excimer Laser Development.- Applications.- Overview.- Ablation.- Micro-Machining.- Via Drilling.- Micro-Processing of Borosilicate Glass and Polymers.- F2-Laser Microfabrication for Photonics and Biophotonics.- Nano-Structuring with Femtosecond Excimer Laser Pulses.- Physical Aspects of Ultra-Fast UV Laser Transfer.- Microlithography.- TFT Annealing.- Fiber Bragg Gratings.- Marking.- Activation and Metallization of Dielectrics.- Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films.- Combustion Analysis.- Medical Applications of Excimer Lasers.- High-Intensity Applications of Excimer Lasers.- High-Repetition-Rate Applications of Excimer Lasers.- New Frontiers: Extreme-Ultraviolet (EUV) Technology at 13.5 nm.- Trends in Worldwide Excimer Laser Sales.

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